Effects of grain orientation on hillock formation and grain growth in aluminum films on silicon substrates

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标题	Effects of grain orientation on hillock formation and grain growth in aluminum films on silicon substrates
网址	https://doi.org/10.1016/0956-716X(92)90513-E
DOI	10.1016/0956-716X(92)90513-E doi
其它	期刊：Scripta Metallurgica et Materialia 作者：J.E. Sanchez; E. Arzt 出版日期：1992
求助人	ccc 在 2026-06-09 14:11:00 发布自湖北，悬赏 10 积分
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