Mechanical Properties of TiAlSiN films Coated by Hybrid Process

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标题	[高分] Mechanical Properties of TiAlSiN films Coated by Hybrid Process 相关领域材料科学结晶度涂层冶金溅射沉积阴极保护粒度碳化钨氩钨碳化物溅射复合材料薄膜电极纳米技术阳极化学有机化学物理化学
网址	https://doi.org/10.5695/jkise.2014.47.4.174 AI链接 or.krdoi.org
DOI	10.5695/jkise.2014.47.4.174 doi
其它	期刊：Journal of the Korean institute of surface engineering 作者：Min-A Song; Jihoon Yang; Jae-Hun Jung; Sung-Hwan Kim; Jae-In Jeong 出版日期：2014-08-30
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