Modeling and control of L-type network impedance matching for semiconductor plasma etch

已关闭

文献求助详情

标题	Modeling and control of L-type network impedance matching for semiconductor plasma etch
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003444
DOI	10.1116/6.0003444 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Carlos Rodriguez; Jairo Viola; YangQuan Chen; Joaquín Álvarez 出版日期：2024-03-01
求助人	Trip_wyb 在 2026-08-26 23:29:45 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

20天前，求助关闭

科研通管家机器人关闭了本次求助。

说明求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】
25天前

Trip_wyb Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 自然的绮山完成签到，获得积分10

3秒前; 小细腿的凯哥完成签到，获得积分20

4秒前; fpy的应助被Xxyyzzz采纳，获得10

4秒前; 大模型上传了应助文件

5秒前; 斯文败类上传了应助文件

5秒前; 俊逸千凡完成签到，获得积分10

5秒前; Jasper的应助被清爽的谷云采纳，获得10

5秒前; GY完成签到，获得积分10

6秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

8秒前; 传奇3的应助被wangjue采纳，获得10

8秒前; 初景关闭了初景的文献求助

9秒前; 脑洞疼的应助被薛定谔的猫采纳，获得10

9秒前; 朴实的傲柏发布了新的文献求助10

9秒前; zhu_lf完成签到，获得积分10

10秒前; 小二郎上传了应助文件

10秒前; 轻松的尔槐发布了新的文献求助10

10秒前; journey完成签到，获得积分10

12秒前; 背后的尔琴完成签到，获得积分10

12秒前; 顾矜上传了应助文件

13秒前; 虚拟的妍发布了新的文献求助10

13秒前; asdasd的应助被车干采纳，获得10

13秒前; 彭大大上传了应助文件

14秒前; 小章鱼完成签到，获得积分10

15秒前; 彭于晏上传了应助文件

15秒前; xhy发布了新的文献求助10

15秒前; 左小夏发布了新的文献求助30

16秒前; 乐乐上传了应助文件

16秒前; 传奇3上传了应助文件

16秒前; 烧仙草之完成签到，获得积分10

17秒前; 无花果的应助被lklk采纳，获得10

20秒前; GY发布了新的文献求助10

22秒前; 落后的代秋发布了新的文献求助10

22秒前; wangjue发布了新的文献求助10

23秒前; Hua完成签到，获得积分10

24秒前; 乐乐的应助被顺利柚子采纳，获得10

24秒前; obsession完成签到，获得积分10

25秒前; 吕半鬼完成签到，获得积分0

25秒前; Lancet完成签到，获得积分10

28秒前; 平常的羊完成签到，获得积分10

30秒前; 大笨鹅之家完成签到，获得积分10

31秒前