Modeling insights into amorphous carbon etching by SO2/O2 low-pressure plasma

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标题	Modeling insights into amorphous carbon etching by SO2/O2 low-pressure plasma
网址	https://doi.org/10.1116/6.0005172
DOI	10.1116/6.0005172 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Dmitry Levko; Mingmei Wang 出版日期：2026-01-15
求助人	核桃在 2026-07-03 14:13:25 发布自湖北，悬赏 10 积分
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