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标题
Plasma-surface interactions of advanced photoresists with C4F8∕Ar discharges: Plasma parameter dependencies
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/27/1/92/15936947/92...
DOI
10.1116/1.3054342 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：S. Engelmann; R. L. Bruce; M. Sumiya; T. Kwon; R. Phaneuf; et al
出版日期：2009-02-12
求助人
gao 在 2026-07-14 21:17:21 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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