TiN 与 SiO₂界面的热稳定性研究

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文献求助详情

标题	TiN 与 SiO₂界面的热稳定性研究
网址	半导体学报，2006, 27 (7):1270-1274.
DOI	10.1088/1674-4926/ doi
其它	半导体学报2008年后才有对应的DOI
求助人	胶凝在 2026-10-23 15:15:07 发布自天津，悬赏 10 积分
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