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![]() 电弧PVD工艺中偏压和氮气压力对TiNbN涂层影响的多因素研究
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期刊:Coatings 作者:Henry Dempwolf; Matthias Proft; Axel Baumann; Sinah Malz; Olaf Keßler 出版日期:2022-07-01 |
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