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  The Impact of Bias and Nitrogen Pressure on TiNbN Coatings in Arc-PVD Processes—A Multifactorial Study 电弧PVD工艺中偏压和氮气压力对TiNbN涂层影响的多因素研究
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期刊：Coatings 作者：Henry Dempwolf; Matthias Proft; Axel Baumann; Sinah Malz; Olaf Keßler 出版日期：2022-07-01 |
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