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标题
Lloyd’s mirror interference lithography below a 22-nm pitch with an accessible, tabletop, 13.5 nm high-harmonic EUV source
22 nm间距以下的劳埃德镜干涉光刻,采用可访问的桌面13.5 nm高次谐波EUV源
相关领域
极紫外光刻 干涉光刻 干扰(通信) 谐波 平版印刷术 材料科学 光电子学 光刻 光学 物理 计算机科学 电信 声学 医学 频道(广播) 替代医学 病理 制作
网址
DOI
10.1117/12.2595048 doi
求助人
grande 在 2025-07-21 09:09:18 发布自北京,悬赏 20 积分
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