Latest Development of Micro Thermoelectric Cooler Based on MEMS

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标题	Latest Development of Micro Thermoelectric Cooler Based on MEMS 基于MEMS的微型热电冷却器的最新进展相关领域微电子机械系统热电效应热电冷却开发（拓扑）材料科学工程物理热电发电机热电材料机械工程工程类纳米技术物理热力学数学数学分析
网址	https://doi.org/10.3901/jme.2010.08.114
DOI	10.3901/jme.2010.08.114 doi
其它	期刊：Journal of Mechanical Engineering 作者：Dahai Ren 出版日期：2010-01-01
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