Best impedance matching seeking of single-frequency capacitively coupled plasmas by numerical simulations - 科研通

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标题	Best impedance matching seeking of single-frequency capacitively coupled plasmas by numerical simulations 单频电容耦合等离子体最佳阻抗匹配的数值模拟研究相关领域阻抗匹配电阻抗等离子体电容电感等效电路反射系数计算物理学材料科学电子工程物理电气工程光学工程类电压量子力学电极
网址	https://doi.org/10.1063/5.0096910
DOI	10.1063/5.0096910 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Shimin Yu; Zili Chen; Hao Wu; Lianbo Guo; Zhijiang Wang; et al 出版日期：2022-08-22
求助人	荀天德在 2024-03-18 11:19:26 发布自浙江，悬赏 10 积分
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