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 Microstructures and electrical properties of nanostructured Cr2O3 thin films deposited by dual-target reactive high-power impulse magnetron sputtering 相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
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期刊：Vacuum 作者：Mingdong Zhu; Fei Li; Guangxue Zhou; Xiao Jin; Xiaofeng Wang; et al 出版日期：2019-03-21 |
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