Effects of Mo seeding on the formation of Si nanodots during low-energy ion bombardment

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标题	Effects of Mo seeding on the formation of Si nanodots during low-energy ion bombardment
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.2870222
DOI	10.1116/1.2870222 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Gozde Ozaydin; Karl F. Ludwig; Hua Zhou; Randall L. Headrick 出版日期：2008-03-01
求助人	哈哈哈在 2026-07-22 00:07:35 发布自重庆，悬赏 10 积分
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