发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Controllable synthesis of core-shell SiO2@CeO2 composite abrasives for chemical mechanical polishing of EMC-Si-Cu multi-heterointerfaces
相关领域
抛光 化学机械平面化 复合数 材料科学 芯（光纤） 复合材料 壳体（结构） 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2025.130509
DOI
10.1016/j.matchemphys.2025.130509 doi
其它 期刊：Materials Chemistry and Physics
作者：Jiale Zhang; Xiaohu Qu; Jianhang Yin; Ning Wang
出版日期：2025-02-06
求助人
mxc 在 2026-09-17 08:47:54 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. 0.35μm CMOS Technology with Chemical Mechanical Polishing for Three Metallization Levels Planarizat...
  2. Macromodel for changes in polishing pad surface condition caused by dressing and polishing
  3. Planarization using chemical mechanical planarization (CMP) on a 16-megabit SRAM with quadruple poly...
  4. Chemical and Mechanical Properties of Cu Surface Reaction Layers in Cu-CMP to Improve Planarization
  5. Advanced chemical mechanical planarization (CMP) process for copper interconnects
  6. Post-chemical-mechanical planarization cleaning application in metallization
  7. Study of the Chemical-Mechanical Global Planarization of Low-k Dielectric in ULSI
  8. Study the chemical mechanical polishing on sapphire substrate
  9. Chemical Mechanical Polishing (CMP) 공정을 이용한 Mutilevel Metal 구조의 광역 평탄화에 관한 연구
  10. Impact of PAD Micro Contact Size and Distribution on the Planarization in CMP
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 4小时前

    赘婿 赘婿 Lv11 上传了文件

    待审核 1-s2.0-S0254058425001555-main.pdf (21.11 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 4小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    08:47:58 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    08:47:55 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    08:47:54 已向机器人发送请求

  • 4小时前

    mxc mxc Lv13 求助人 发起了本次求助

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
magie发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
JamesPei的应助被yyy采纳，获得10
1秒前
ffw1发布了新的文献求助10
1秒前
柴六斤发布了新的文献求助10
1秒前
大力的飞莲完成签到，获得积分10
2秒前
张耀发布了新的文献求助10
2秒前
走走完成签到，获得积分20
3秒前
研友_VZG7GZ的应助被sh采纳，获得10
3秒前
童行完成签到 ，获得积分20
4秒前
嗷嗷完成签到，获得积分20
4秒前
Finley发布了新的文献求助10
5秒前
6秒前
顾矜的应助被magie采纳，获得10
6秒前
彭于晏的应助被五六七采纳，获得10
6秒前
拾柒完成签到，获得积分20
6秒前
7秒前
李爱国的应助被禾梦采纳，获得10
7秒前
大力的飞荷完成签到，获得积分10
7秒前
seven发布了新的文献求助10
7秒前
科研通AI2S的应助被山野的雾采纳，获得10
8秒前
9秒前
9秒前
Serene完成签到，获得积分10
9秒前
华仔的应助被李明采纳，获得10
9秒前
10秒前
慢羊羊发布了新的文献求助10
10秒前
鸣丘完成签到 ，获得积分10
10秒前
李健的小迷弟的应助被柴六斤采纳，获得10
10秒前
走走发布了新的文献求助10
11秒前
烟花的应助被申改改采纳，获得10
11秒前
希望天下0贩的0的应助被LiChen采纳，获得10
12秒前
小星星关注了科研通微信公众号
12秒前
共享精神的应助被茶泡饭采纳，获得10
13秒前
疯狂的碧凡完成签到，获得积分10
13秒前
拾柒发布了新的文献求助10
13秒前
认真无极完成签到，获得积分10
14秒前
面朝大海发布了新的文献求助10
14秒前
观察者完成签到，获得积分10
14秒前
sh发布了新的文献求助10
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
HYDROLYSE ACIDE DE QUELQUES DIOXASPIROCYCLANES 1000
Navigating Normative Orders. Interdisciplinary Perspectives 800
1 Peter and Christ's Descent to the Dead in Its Early Christian Reception 700
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition 600
Organizational Behavior 510
Management and the Arts 510
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 内科学 物理 复合材料 催化作用 细胞生物学 无机化学 光电子学 物理化学 电极 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7740841
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9289399
关于积分的说明 20195525
捐赠科研通 7319012
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3306533
关于科研通互助平台的介绍 2458819
邀请新用户注册赠送积分活动 2316791
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通