The Role of Polycrystalline MoS2 as Diffusion Barrier in Ru Interconnects: Thermal Stability and Electrical Performances - 科研通

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标题	The Role of Polycrystalline MoS2 as Diffusion Barrier in Ru Interconnects: Thermal Stability and Electrical Performances
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsami.5c01917
DOI	10.1021/acsami.5c01917 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials and Interfaces 作者：Dun-Jie Jhan; Kai-Yuan Hsiao; Ranjini Sarkar; Jin-Wei Lu; Yu-Lin Chen; et al 出版日期：2025-03-31
求助人	一个亿在 2026-08-07 12:24:39 发布自美国，悬赏 10 积分
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