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标题
Boron and high-k dielectrics: Possible fourth etch stop colors for multipattern optical lithography processing
网址
http://avs.scitation.org/doi/am-pdf/10.1116/1.4974920
DOI
10.1116/1.4974920 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Shailesh Dhungana; Thuong D. Nguyen; Bradley J. Nordell; Anthony N. Caruso; Michelle M. Paquette; et al
出版日期：2017-01-27
求助人
zheng 在 2026-07-09 16:04:47 发布自江苏，悬赏 10 积分
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