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  Design and Fabrication of Bulk Micromachined 4H-SiC Piezoresistive Pressure Chips Based on Femtosecond Laser Technology 基于飞秒激光技术的体微加工4H-SiC压阻压力芯片的设计与制备
相关领域
材料科学
飞秒
惠斯通大桥
激光器
表面微加工
碳化硅
制作
光电子学
表面粗糙度
机械加工
压力传感器
压阻效应
硅
微电子机械系统
光学
复合材料
机械工程
电气工程
工程类
电阻器
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医学
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期刊：Micromachines 作者：Lukang Wang; You Zhao; Yulong Zhao; Yu Yang; Taobo Gong; et al 出版日期：2021-01-06 |
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