Plasma diagnostics and film growth of multicomponent nitride thin films with magnetic-field-assisted-dc magnetron sputtering

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标题	Plasma diagnostics and film growth of multicomponent nitride thin films with magnetic-field-assisted-dc magnetron sputtering 相关领域薄膜溅射沉积材料科学朗缪尔探针分析化学（期刊）溅射基质（水族馆）氮化物偏压等离子体离子磁场光电子学化学电压等离子体诊断纳米技术图层（电子）电气工程物理工程类地质学有机化学海洋学量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111331
DOI	10.1016/j.vacuum.2022.111331 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Smita G. Rao; Rui Shu; Robert Boyd; Arnaud le Febvrier; Per Eklund 出版日期：2022-07-13
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