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Process Development and Optimization of Flip FET (FFET) for Stacked Transistors Technology 用于堆叠晶体管技术的翻转场效应管(FFET)工艺开发与优化
相关领域
材料科学
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Wanyue Peng; Yandong Ge; Jiacheng Sun; Haoran Lü; Ming Li; et al 出版日期:2025-10-06 |
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