Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide

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标题	Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide
网址	http://aip.scitation.org/doi/am-pdf/10.1063/1.4961459
DOI	10.1063/1.4961459 doi
其它	期刊：The Journal of Chemical Physics 作者：Adriaan J. M. Mackus; Callisto MacIsaac; Woo-Hee Kim; Stacey F. Bent 出版日期：2016-09-09
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