Transport and diffusion properties of tin–hydrogen plasmas in extreme ultraviolet lithography reactor

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标题	Transport and diffusion properties of tin–hydrogen plasmas in extreme ultraviolet lithography reactor
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6595/ae0660
DOI	10.1088/1361-6595/ae0660 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Fei Chen; Jin-Wen Cao; Su-Rong Sun; Hai-Xing Wang; Anthony B Murphy 出版日期：2025-09-13
求助人	活力的鹤轩在 2026-04-13 15:05:03 发布自上海，悬赏 10 积分
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