Atomic layer deposition of HZO ferroelectric films beyond the upper thickness limit via tetragonal-phase nucleation engineering

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标题	Atomic layer deposition of HZO ferroelectric films beyond the upper thickness limit via tetragonal-phase nucleation engineering
网址	https://pubs.aip.org/aip/apr/article-pdf/doi/10.1063/5.03059...
DOI	10.1063/5.0305962 doi
其它	期刊：Applied Physics Reviews 作者：Binjian Zeng; Xikang Li; Kang Zhou; Qijun Yang; Changfan Ju; et al 出版日期：2026-01-06
求助人	JyangBiao 在 2026-05-07 16:38:27 发布自北京，悬赏 20 积分
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