High-efficiency and deterministic finishing of optical glass via multi-mode air-jet chemical mechanical polishing

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标题	High-efficiency and deterministic finishing of optical glass via multi-mode air-jet chemical mechanical polishing
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2026.02.077
DOI	10.1016/j.jmapro.2026.02.077 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Zili Zhang; Wei Wu; Chi Fai Cheung; Rui Gao; Zongbao He; et al 出版日期：2026
求助人	Lel 在 2026-03-18 19:28:37 发布自吉林，悬赏 10 积分
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