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 An efficient and noticeable wet etching method for PZT and its application in scanning mirrors 一种高效、显著的PZT湿法刻蚀方法及其在扫描镜中的应用
相关领域
材料科学
蚀刻（微加工）
扫描电子显微镜
光学
光电子学
复合材料
物理
图层（电子）
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Xiaolong Ding; Hexiang Guo; Ziqiang Qu; Xiangyang Wei; Junya Wang; et al 出版日期：2024-10-30 |
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