Design of Injection Feed Multiwafer Low‐Pressure Chemical Vapor Deposition Reactors

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标题	Design of Injection Feed Multiwafer Low‐Pressure Chemical Vapor Deposition Reactors 多晶片低压化学气相沉积反应器的设计相关领域试剂沉积（地质）化学气相沉积流量（数学）化学材料科学微分方程分析化学（期刊）化学工程核工程机械色谱法物理化学有机化学工程类物理量子力学生物古生物学沉积物
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.1838667
DOI	10.1149/1.1838667 doi
求助人	StephenCurry 在 2025-07-24 09:47:11 发布自上海，悬赏 10 积分
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