4H-SiC MEMS高温电容式压力敏感元件设计

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标题	4H-SiC MEMS高温电容式压力敏感元件设计
网址	http://dx.doi.org/10.13494/j.npe.20150008
DOI	10.13494/j.npe.20150008 doi
求助人	linkai 在 2025-09-28 16:17:33 发布自福建，悬赏 10 积分
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