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Ion energy analysis of a bipolar HiPIMS discharge using a retarding field energy analyser 用延迟场能量分析仪分析双极HiPIMS放电的离子能量
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期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:F Walk; Řeža Valizadeh; James W. Bradley 出版日期:2022-04-25 |
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