Poisson-CDF modeling of in‑die optimization for electron beam inspection under random defect distribution

已完结

文献求助详情

标题	Poisson-CDF modeling of in‑die optimization for electron beam inspection under random defect distribution
网址	https://doi.org/10.1117/12.3087830
DOI	10.1117/12.3087830 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XL 作者：Po-Jen Mo; Tsan-Yu Ho; Xing Ji; Chia-Wei Fan; Chen-Wei Hsu; et al 出版日期：2026-04-09
求助人	ZICEY 在 2026-10-08 19:26:21 发布自陕西，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人或该文件上传人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 留胡子的鸿涛完成签到，获得积分10

刚刚; CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得30

11秒前; 典雅夏之的应助被科研通管家采纳，获得10

11秒前; 诚心荟完成签到，获得积分10

16秒前; 辛勤幻竹完成签到，获得积分10

59秒前; 无极微光上传了应助文件

1分钟前; 共享精神上传了应助文件

1分钟前; 清神安发布了新的文献求助10

1分钟前; 冷傲的醉山完成签到，获得积分10

1分钟前; ding上传了应助文件

1分钟前; 史家祥发布了新的文献求助10

1分钟前; 史家祥完成签到，获得积分10

1分钟前; Jasper的应助被清神安采纳，获得10

1分钟前; 粗心的丹萱完成签到，获得积分10

2分钟前; 李健的小迷弟的应助被科研通管家采纳，获得30

2分钟前; 朴实的懿轩完成签到，获得积分10

2分钟前; 9527z发布了新的文献求助20

2分钟前; 激情的衣完成签到，获得积分10

2分钟前; 程艾影完成签到，获得积分10

2分钟前; SavvyYung完成签到，获得积分10

3分钟前; 愤怒的微笑完成签到，获得积分10

3分钟前; 把饭拼好给你完成签到，获得积分10

3分钟前; molihuakai上传了应助文件

3分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

3分钟前; 健康的兰完成签到，获得积分10

3分钟前; 111完成签到，获得积分10

3分钟前; 许七安发布了新的文献求助10

3分钟前; 111发布了新的文献求助10

3分钟前; 清浅完成签到，获得积分10

4分钟前; xiaoqingnian完成签到，获得积分10

4分钟前; 小二郎的应助被Wcy采纳，获得10

4分钟前; 小马甲的应助被111采纳，获得10

4分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 今后的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 俭朴的藏今完成签到，获得积分10

4分钟前; bkagyin上传了应助文件

4分钟前; 光亮靳完成签到，获得积分10

4分钟前; 小二郎上传了应助文件

4分钟前; iuv发布了新的文献求助10

4分钟前; Wcy发布了新的文献求助10

4分钟前