Atomic layer deposition of oxide semiconductor thin films for transistor applications: a review

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标题	Atomic layer deposition of oxide semiconductor thin films for transistor applications: a review 晶体管用氧化物半导体薄膜的原子层沉积研究进展相关领域材料科学原子层沉积图层（电子）半导体晶体管光电子学沉积（地质）薄膜晶体管氧化物薄膜原子层外延纳米技术工程物理冶金电气工程工程类古生物学电压沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1039/d4tc03452j
DOI	10.1039/d4tc03452j doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Inhong Hwang; Minki Choe; Dahui Jeon; I. G. Baek 出版日期：2024-01-01
求助人	六便士在攒在 2025-05-16 16:39:01 发布自安徽，悬赏 10 积分
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