Characterization of oxygen and nitrogen rapid thermal annealing processes for ultra-low-k SiCOH films

已完结

文献求助详情

标题	Characterization of oxygen and nitrogen rapid thermal annealing processes for ultra-low-k SiCOH films
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/jmr.2008.0106 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Sungwoo Lee; Donggeun Jung; Jaeyoung Yang; Jin-hyo Boo; Hyoungsub Kim; et al 出版日期：2008-03-01
求助人	自然的翠丝在 2026-04-20 14:47:25 发布自中国，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: molihuakai的应助被孤独的绮烟采纳，获得10

刚刚; yyt发布了新的文献求助10

刚刚; 小草发布了新的文献求助10

2秒前; 拾柒发布了新的文献求助10

2秒前; You完成签到，获得积分20

3秒前; 白露发布了新的文献求助10

3秒前; 侏罗纪世界发布了新的文献求助20

3秒前; vy67发布了新的文献求助10

3秒前; 情怀上传了应助文件

3秒前; dalong完成签到，获得积分0

3秒前; 乐乐的应助被lx840518采纳，获得10

5秒前; CipherSage的应助被Rui采纳，获得10

5秒前; Vic完成签到，获得积分10

6秒前; yyt完成签到，获得积分10

7秒前; 乐乐的应助被锂心力采纳，获得10

7秒前; 丘比特的应助被笑点低的咖啡豆采纳，获得10

7秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

7秒前; 科研通AI6.4的应助被66采纳，获得30

8秒前; 香蕉觅云的应助被66采纳，获得10

8秒前; 爆米花的应助被66采纳，获得10

8秒前; 搜集达人的应助被66采纳，获得10

8秒前; 科研通AI6.2的应助被66采纳，获得100

8秒前; 武雨寒完成签到，获得积分20

9秒前; 赘婿上传了应助文件

10秒前; 脑洞疼上传了应助文件

10秒前; 开放的千青发布了新的文献求助10

11秒前; 腼腆的赛君发布了新的文献求助10

11秒前; 武雨寒发布了新的文献求助10

11秒前; 在水一方的应助被侏罗纪世界采纳，获得10

11秒前; 醉熏的安荷发布了新的文献求助10

13秒前; 赘婿的应助被零零采纳，获得30

13秒前; CYC发布了新的文献求助10

13秒前; 等于几都行完成签到，获得积分10

13秒前; 谦让的灵阳发布了新的文献求助10

14秒前; 卡西法发布了新的文献求助10

14秒前; BUFF发布了新的文献求助10

14秒前; Ava上传了应助文件

15秒前; 爆米花上传了应助文件

16秒前; Hello的应助被kdfdds采纳，获得10

16秒前; 白露完成签到，获得积分20

16秒前