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Continuum and kinetic simulations of the neutral gas flow in an industrial physical vapor deposition reactor
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DOI
10.1016/j.surfcoat.2013.08.018 doi
其它 期刊:Surface and Coatings Technology
作者:Kirsten Bobzin; Ralf Peter Brinkmann; Thomas Mussenbrock; Nazlim Bagcivan; Ricardo Henrique Brugnara; et al
出版日期:2013-12-01
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