Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces

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标题	Design of a hyper-numerical-aperture deep ultraviolet lithography objective with freeform surfaces
网址	https://www.researching.cn/articles/OJe6839185727d9fd4/html
DOI	10.3788/col201816.030801 doi
其它	期刊：Chinese Optics Letters 作者：S. Mao; Yanqiu Li; Jiahua Jiang; Shihuan Shen; Ke Liu; et al 出版日期：2018-03-15
求助人	llll 在 2026-09-05 14:15:17 发布自吉林，悬赏 10 积分
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