Freeform mask optimization using advanced image based M3D inverse lithography and 3D-NAND full chip opc application - 科研通

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标题	Freeform mask optimization using advanced image based M3D inverse lithography and 3D-NAND full chip opc application
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297397
DOI	10.1117/12.2297397 doi
其它	期刊：作者：Samuel Liu; Jingjing Liu; Andy Yang; Moran Guo; Jun He; et al 出版日期：2018-03-20
求助人	jun 在 2026-08-03 14:19:35 发布自美国，悬赏 20 积分
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