A High-Performance Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope With Off-Plane Coupling Suppression Silicon Gratings

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标题	A High-Performance Tactical-Grade Monolithic Horizontal Dual-Axis MEMS Gyroscope With Off-Plane Coupling Suppression Silicon Gratings
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/41/9789949/09617151.pdf?...
DOI	10.1109/tie.2021.3127036 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Industrial Electronics 作者：Jian Cui; Qiancheng Zhao 出版日期：2021-11-17
求助人	尊敬的惠在 2026-06-15 21:46:51 发布自北京，悬赏 10 积分
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