Electrical and physical characterizations of the effects of oxynitridation and wet oxidation at the interface of SiO2/4H-SiC(0001) and

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标题	Electrical and physical characterizations of the effects of oxynitridation and wet oxidation at the interface of SiO2/4H-SiC(0001) and SiO2/4H-SiC（0001）界面氧氮化和湿氧化效应的电学和物理表征相关领域弹性后坐力检测分析化学（期刊）材料科学透射电子显微镜氧化物湿式氧化化学纳米技术薄膜色谱法生物化学催化作用冶金
网址	http://stacks.iop.org/1347-4065/55/i=4S/a=04ER19/pdf
DOI	10.7567/jjap.55.04er19 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Hiromu Shiomi; Hidenori Kitai; Masatoshi Tsujimura; Yuji Kiuchi; Daisuke Nakata; et al 出版日期：2016-03-29
求助人	ZYH 在 2025-01-31 18:46:18 发布自上海，悬赏 10 积分
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