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Systematic approach for high piezoelectric AlN deposition 高压电AlN沉积的系统方法
相关领域
压电
沉积(地质)
材料科学
冶金
复合材料
地质学
沉积物
古生物学
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Lucía Nieto Sierra; Fernando Lloret; Juan Jesús Gallardo; Carlos Garcia Nunez; Manuel Pelayo García; et al 出版日期:2024-09-26 |
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