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Camera-based metrology of subwavelength scatterers in photonic integrated circuits 基于相机的光子集成电路亚波长散射体计量
相关领域
光子集成电路
光子学
光学
集成电路
电子线路
计量学
显微镜
时域有限差分法
计算机科学
光电子学
电子工程
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期刊: 作者:Tyler V. Howard; Thomas G. Brown 出版日期:2021-10-06 |
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