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 Ultraflat single-crystal hexagonal boron nitride for wafer-scale integration of a 2D-compatible high-κ metal gate 用于二维兼容高κ金属栅极晶圆级集成的超扁平单晶六方氮化硼
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期刊：Nature Materials 作者：Yani Wang; Chao Zhao; Xin Gao; Liming Zheng; Jun Qian; et al 出版日期：2024-08-12 |
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