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 TiSiN/AlCrN multilayer coatings with gradient modulation period deposited by HiPIMS: Mechanical and tribological properties HiPIMS沉积梯度调制周期TiSiN/AlCrN多层涂层的力学和摩擦学性能
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
摩擦学
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