发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Exploring the crucial role of mask 3D-induced imaging mechanisms in high- and hyper-NA EUV lithography: a study of the near- and far-field of the diffracted light
探索掩模3D诱导成像机制在高NA和超NA EUV光刻中的关键作用：衍射光近场和远场的研究
相关领域
极紫外光刻 平版印刷术 近场和远场 衍射 光学 光电子学 材料科学 物理 纳米光刻 X射线光刻 抵抗 纳米技术 制作 医学 替代医学 病理 图层（电子）
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3050542
DOI
10.1117/12.3050542 doi
求助人
火火 在 2025-05-17 16:05:46 发布自中国香港，悬赏 20 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Computer simulations of resist profiles in x-ray lithography
  2. EUV resists towards 11nm half-pitch
  3. Predictive modeling of EUV-lithography: the role of mask, optics, and photoresist effects
  4. Computer simulation of resist profiles at electron beam nanolithography
  5. Optical Elements for EUV Lithography and X‐ray Optics
  6. Pattern width of negative resists in x-ray lithography
  7. Synchrotron lithography: The way to sub‐micron features with single layer resists
  8. X-Ray Engineering and Its Application. Development and Application of Highly Precise X-Ray Optics. E...
  9. Minimize the diffraction influence by resist process optimization in X-ray lithography
  10. Evaluation of x-ray resists for submicron lithography
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
2秒前
123456qi发布了新的文献求助10
2秒前
SHAOXiaoqian完成签到 ，获得积分10
3秒前
科研小菜鸡完成签到，获得积分10
3秒前
3秒前
复杂听莲发布了新的文献求助10
6秒前
Kathy发布了新的文献求助10
6秒前
在水一方的应助被刘洋采纳，获得10
8秒前
活泼的烙完成签到 ，获得积分10
9秒前
wn2020wn发布了新的文献求助10
11秒前
lianger完成签到，获得积分20
15秒前
16秒前
yang发布了新的文献求助20
16秒前
快乐寄风完成签到 ，获得积分10
18秒前
19秒前
20秒前
cecilia发布了新的文献求助20
20秒前
22秒前
SciGPT的应助被郭497采纳，获得10
22秒前
共享精神的应助被淡定从凝采纳，获得10
22秒前
23秒前
youngyang完成签到 ，获得积分10
23秒前
小蘑菇的应助被yk采纳，获得10
23秒前
24秒前
26秒前
27秒前
28秒前
29秒前
一一的应助被ryan采纳，获得10
30秒前
淡淡的雪的应助被刘洋采纳，获得10
30秒前
kk发布了新的文献求助10
30秒前
washy发布了新的文献求助10
31秒前
Akim的应助被满意的仙人掌采纳，获得10
31秒前
31秒前
匆匆那年完成签到 ，获得积分10
31秒前
32秒前
32秒前
希望天下0贩的0的应助被吱吱采纳，获得10
32秒前
科研通AI5的应助被纯情的沛岚采纳，获得10
33秒前
高分求助中
Mass producing individuality 600
Разработка метода ускоренного контроля качества электрохромных устройств 500
A Combined Chronic Toxicity and Carcinogenicity Study of ε-Polylysine in the Rat 400
The acute effects of different percentages of blood flow restrictions on all-out back squat exercise 200
How We Sold Our Future: The Failure to Fight Climate Change 200
Lab Dog: What Global Science Owes American Beagles 200
Encyclopaedia Britannica 200
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3824664
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3366913
关于积分的说明 10443514
捐赠科研通 3086262
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1697803
邀请新用户注册赠送积分活动 816558
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 769762
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通