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Exploring the crucial role of mask 3D-induced imaging mechanisms in high- and hyper-NA EUV lithography: a study of the near- and far-field of the diffracted light

极紫外光刻 平版印刷术 近场和远场 衍射 光学 光电子学 材料科学 物理 纳米光刻 X射线光刻 抵抗 纳米技术 制作 医学 替代医学 病理 图层（电子）
作者
Andreas Erdmann,Gerardo Bottiglieri,Christian Schwemmer,Peter Evanschitzky,Timothy A. Brunner,Eelco van Setten,M.-Claire van Lare,Mark van de Kerkhof
标识
DOI：10.1117/12.3050542
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