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 Rigorous mask modeling using waveguide and FDTD methods: an assessment for typical hyper-NA imaging problems 使用波导和FDTD方法的严格掩模建模：典型超NA成像问题的评估
相关领域
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Andreas Erdmann; Peter Evanschitzky; Giuseppe Citarella; Tim Fühner; Peter De Bisschop 出版日期：2006-05-04 |
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