Mesoporous CeO2 Particle Abrasives with High Specific Surface Area for Enhanced Chemical Mechanical Polishing Performance

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标题	Mesoporous CeO2 Particle Abrasives with High Specific Surface Area for Enhanced Chemical Mechanical Polishing Performance
网址	https://doi.org/10.1109/CSTIC64481.2025.11017880
DOI	10.1109/CSTIC64481.2025.11017880 doi
其它	期刊：2025 Conference of Science and Technology of Integrated Circuits (CSTIC) 作者：Fengjia Yang; Jinhua Liu; Linyi Shen; Wenjing Hou; Wei Yuan; et al 出版日期：2025
求助人	晗哥在 2026-06-04 15:58:58 发布自河北，悬赏 10 积分
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