Achievement of Higher-k and High-Φ in Phase Controlled HfO2 Film Using Post Gate Electrode Deposition Annealing - 科研通

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标题	Achievement of Higher-k and High-Φ in Phase Controlled HfO2 Film Using Post Gate Electrode Deposition Annealing
网址	https://doi.org/10.1149/1.2779546
DOI	10.1149/1.2779546 doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Yukimune Watanabe; Hiroyuki Ota; Shinji Migita; Yuuichi Kamimuta; Kunihiko Iwamoto; et al 出版日期：2007
求助人	Jie 在 2026-03-08 17:03:38 发布自上海，悬赏 10 积分
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