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Metalorganic chemical vapor deposition epitaxy of β-Ga2O3 films on (001) Ga2O3 substrates with fast growth rates 相关领域
金属有机气相外延
三甲基镓
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期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Lingyu Meng; Dong Su Yu; Md. Mosarof Hossain Sarkar; Hongping Zhao 出版日期:2025-06-20 |
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