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 Low temperature atomic layer deposition of boron nitride using the in-situ decomposition of ammonium carbamate 氨基甲酸铵原位分解低温原子层沉积氮化硼
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期刊：Chemical Communications 作者：Ana Álvarez-Yenes; Victor O. Koroteev; Maxim R. Ryzhikov; Maxim Ilyn; S. G. Kozlova; et al 出版日期：2025-01-01 |
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