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[高分]
 Laser discharge in a high-pressure jet of heavy noble gas: Expansion of emitting volume promises an efficient source of EUV light for lithography 重惰性气体高压射流中的激光放电：发射体积的扩展为光刻提供了有效的EUV光源
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期刊：Physical Review Applied 作者：I. S. Abramov; С. В. Голубев; E. D. Gospodchikov; A. G. Shalashov; A. A. Perekalov; et al 出版日期：2025-02-03 |
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