New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography

已完结

文献求助详情

标题	New Concept for the Development of High-Performance X-ray Lithography 高性能X射线光刻技术发展的新概念相关领域平版印刷术材料科学 X射线光刻开发（拓扑）极紫外光刻纳米技术计算机科学工程物理光电子学抵抗物理数学数学分析图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1134/s1063739724600511
DOI	10.1134/s1063739724600511 doi
其它	期刊：Russian Microelectronics 作者：Н. И. Чхало 出版日期：2024-10-01
求助人	wzd87790663 在 2025-07-30 19:47:11 发布自安徽，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研通AI6.4的应助被txx采纳，获得10

1秒前; d叨叨鱼发布了新的文献求助10

1秒前; ll完成签到，获得积分10

1秒前; Timo干物类发布了新的文献求助10

1秒前; Alvin发布了新的文献求助10

2秒前; Eason发布了新的文献求助10

3秒前; 充电宝的应助被顺利的囧采纳，获得10

4秒前; 7308发布了新的文献求助10

4秒前; cwx发布了新的文献求助10

5秒前; 无花果的应助被辛勤的乌采纳，获得10

5秒前; cyu完成签到，获得积分10

6秒前; bkagyin上传了应助文件

6秒前; 李健的小迷弟上传了应助文件

7秒前; 赘婿的应助被Caius采纳，获得10

7秒前; 丘比特的应助被Richard采纳，获得10

7秒前; 璐璐上传了应助文件

7秒前; 彪壮的绮烟发布了新的文献求助10

7秒前; 细腻的语柳完成签到，获得积分10

8秒前; qsy111完成签到，获得积分10

8秒前; Owen上传了应助文件

8秒前; 科研通AI6.4的应助被hou采纳，获得10

8秒前; 赘婿的应助被阿尔法突袭采纳，获得10

9秒前; Lingling发布了新的文献求助10

10秒前; 田様的应助被t12s2365_采纳，获得10

10秒前; huang完成签到，获得积分10

10秒前; 所所上传了应助文件

10秒前; 文静曼香完成签到，获得积分10

10秒前; 吴雨茜完成签到，获得积分10

10秒前; 小蘑菇的应助被sewing采纳，获得10

11秒前; 折颜发布了新的文献求助10

12秒前; 彪壮的绮烟发布了新的文献求助10

12秒前; CC完成签到，获得积分10

13秒前; Jaime发布了新的文献求助10

13秒前; passengerrrrr发布了新的文献求助30

13秒前; 丘比特的应助被dan采纳，获得10

13秒前; 李爱国上传了应助文件

13秒前; 肥嘟嘟左卫门驳回了秋风的应助

14秒前; 潇洒宛筠完成签到，获得积分10

14秒前; Hello上传了应助文件

14秒前; Timo干物类完成签到，获得积分10

14秒前