Influence of the electron kinetics on Ar/NF3 inductively coupled plasma

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标题	Influence of the electron kinetics on Ar/NF3 inductively coupled plasma 电子动力学对Ar/NF3电感耦合等离子体的影响相关领域等离子体离解（化学）化学感应耦合等离子体电子密度原子物理学电子动力学等离子体模型扩散化学动力学热力学物理化学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001906
DOI	10.1116/6.0001906 doi
其它	期刊：作者：Dmitry Levko; Laxminarayan L. Raja 出版日期：2022-05-24
求助人	钟123 在 2025-10-30 18:00:36 发布自印度尼西亚，悬赏 10 积分
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