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 MEMS Interdigital Electrode Sensor Design for Gas sensing Mechanism 用于气敏机构的MEMS叉指电极传感器设计
相关领域
电容感应
多物理
电极
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灵敏度（控制系统）
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期刊：2021 International Conference on Emerging Smart Computing and Informatics (ESCI) 作者：Vaishali S. Kulkarni; S. S. Chorage 出版日期：2021-03-05 |
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