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Uniformity optimization of ion beam sputtering coating equipment based on strong current ion source
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溅射 涂层 材料科学 离子 离子束 电流（流体） 离子束沉积 离子源 离子流 梁（结构） 聚焦离子束 光电子学 光学 纳米技术 薄膜 化学 电气工程 物理 工程类 有机化学
网址
http://dx.doi.org/10.7498/aps.73.20231491
AI链接 ac.cndoi.org
DOI
10.7498/aps.73.20231491 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：S.H. Li; Ailin Zhang; Xin Xu; Tao Lü; Shikang Wang; et al
出版日期：2023-12-05
求助人
完美世界 在 2026-01-12 14:39:43 发布自山东，悬赏 10 积分
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